上海AI实验室实现光刻胶树脂稳定制备技术突破

5月12日，上海人工智能实验室发布消息，光刻胶是芯片生产不可或缺的关键组分，其品质好坏直接决定了芯片的运作效能及成品比例。近期，在上海2030新一代人工智能国家科技重大专项的指导下，上海AI实验室携手厦门大学、苏州国家实验室等机构，利用“书生”科学大模型及发现平台，搭建起“AI决策+自动化合成”的闭环研发架构，成功研发出高品质、高一致性且高效的KrF光刻胶树脂。这一成果打破了高端树脂稳定制备对国外少数供应商“黑箱技术”的依赖，为全球芯片材料行业开辟了标准化、高效率迭代的新路径。现阶段，该平台已支持多轮次的