硅片AI质检：有无检测与轨迹偏差一体识别

硅片智能AI质检：实现有无检测与轨迹偏差的智能识别在半导体生产里，硅片的输送、搬移以及托盘流转都属于至关重要的环节。表面上看是“上片—传输—定位—检测”的常规流程，但它对设备运行精度、产品稳定性维持和整线效率的要求非常高。只要传输过程中出现硅片缺失、放置不当、轨迹偏移、运行状态不稳等情况，就可能带来不同程度的后果：轻则拉低节拍，重则触发设备报警、造成产品受损，甚至导致整线停摆。沿用人工巡检或通过单点传感器完成判断的做法，已很难适配如今半导体产线对高精度、强实时、可追溯的质量管理要求。为解决上述行业痛点，零