美国提案：全面禁售DUV光刻机，锁定中芯等五大企业

快科技4月7日报道，美国两党参议员共同发起《MATCH法案》，意图收紧对中国半导体产业升级的出口限制。

该法案拟对华为、中芯国际（SMIC）、长江存储（YMTC）、长鑫存储（CXMT）、华虹半导体（Hua Hong/HLMC）这五家中国核心半导体企业，实施近乎彻底的先进晶圆制造设备（WFE）出口禁令，涵盖DUV光刻机、刻蚀机等核心装备。

若法案正式通过，中国芯片公司将无法向成熟制程产线采购相关先进设备，同时也将失去将这些设备转用于先进制程研发及量产的途径。

美国自2021年底便已开始管制对华先进半导体设备，现行规则要求美、荷、日企业向中国出口14nm及以下逻辑芯片、18nm级DRAM、128层及以上NAND闪存所需设备，均需美国许可。

此次新提案并未增加新的管制对象，重点在于彻底重构设备出口的审批机制。

此前管制仅针对黑名单上的具体工厂，而非拥有产线的公司。厂商此前可向中企成熟产线出口ASML NXT:1950i/1980Di等DUV设备，只要企业承诺不用于先进制程，美方很难有效审计。新法案将改变这一现状。

同时，法案堵死了中间商转售的漏洞，管制延伸至设备全生命周期，包括交易、使用、转售和维护，违规主体将丧失采购和维护资格。

法案还设定了75%的本土供给阈值。一旦某类设备国产化率满足75%，美方将取消相应限制，仅保留战略关键领域的管控。

业内人士指出，法案主要目的是切断中国半导体企业建设维护顶级晶圆厂的供应链，具体影响取决于立法进程。

责任编辑：朝晖