国产SSA800光刻机量产交付?官方辟谣:消息不实!
科技媒体5月10日报道,近期网络上流传的"上海微电子28nm浸没式DUV光刻机实现首次批量交付"消息引发业内广泛关注。 对此,芯智讯发布澄清文章,明确指出该消息存在多处明显的事实错误。 文章首先对消息来源提出质疑。该报道仅使用"据报道"等模糊表述,未提供任何权威、具体的消息来源,这在光刻机这类重大科技新闻中显得极不严谨。 报道称"2026年1月,上海微电子在长三角半导体产业峰会上正式宣布SSA800系列实现全面量产"。然而经调查核实,所谓"长三角半导