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国产光刻胶迎突破!AI 赋能材料研发新范式

作为芯片制造的关键核心材料,光刻胶的品质直接关乎芯片的最终性能与良率。近期,在新一代人工智能国家科技重大专项的强力助推下,上海人工智能实验室携手厦门大学、苏州实验室等多家机构,依托“书生”科学大模型及其科学发现平台,成功研发出具备高纯度、高一致性及高效率的KrF(氟化氪)光刻胶树脂。此项突破意味着高端光刻胶树脂的稳定量产将不再受制于少数国外企业的“黑箱技术”,成功探索出一条标准化、快速迭代的芯片材料研发全新路径。现阶段,联合攻关团队已构建起从 AI 决策至自动化合成的闭环研发体系,有效支撑多批次的自动化合

2026-05-14 09:15:00  |  7 阅读