全球首座纳米微振实验室启用

记者1日从国投集团旗下的中国电子工程设计院股份有限公司了解到，全球首座纳米级微振动实验室近日于河北雄安新区正式投入运行。这是国投集团在先进电子制造领域设立的国家级科技创新平台。

据中国电子院首席技术官杨光明介绍，该实验室旨在服务于半导体制造、航空航天、精密仪器和生物医药等行业，促进我国高精密制造软实力与硬件水平的共同提升。其核心设备是我国自主研发的全球最大且精度最高的微振动模拟实验台。

实验台平面尺寸达到4米×4米，自重约50吨，设计承载能力高达20吨，振动精度突破纳米级，最小振动幅度远低于地球自身的脉动，能满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的上台测试需求。

实验台配备了中国电子院自主开发的空气弹簧主动隔振系统，能有效隔离地基及建筑结构的环境振动干扰，在台面建立超纯净微振动环境。实验台还配备高精度直线电机作动器，能够在宽频率范围内实现0.001伽至5伽的加速度精密输出，精确模拟极微弱背景环境振动，全面覆盖电子信息和航空航天等核心领域的应用。

此外，实验台具有正弦波、随机波和扫频波等多种波形模拟能力，可以进行单方向精确模拟和三方向同步模拟，不仅支持特定频率的精细化分析，还能还原复杂真实环境下的多自由度耦合随机振动场景，为科研攻关和装备验证提供高度贴合实际工况、灵活可控的实验条件。

杨光明表示，纳米级微振动实验室的启用解决了我国多个战略性产业领域的实验验证难题，填补了我国在微振动试验方法、精密设备振动容许标准和隔振装置评价体系等多个方面的技术和市场空白，为我国电子制程和空天信息等领域高端装备的自主研发提供了关键基础支撑。（记者刘园园）